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pup123

铁虫 (初入文坛)

[求助] 有大佬在一厘米方形硅片上光刻过最小特征尺寸2微米的阵列结构吗，想请教一下。

我做完曝光显影后会出现条纹，明暗程度不同，是因为膜厚不均匀吗，匀胶厚度2微米左右，有遇到过相同问题的吗@xiejf@yswyx@dut_ameng
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1楼 2022-05-06 10:31:43
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babyoflion

金虫 (著名写手)
膜厚在曝光前就能看出均匀性

发自小木虫Android客户端
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2楼2022-05-08 21:59:52
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