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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀膜问题
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派大星跑了

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜问题

在磁控溅射镀膜过程当中，靶材是镍靶，溅射一阵子之后靶表明会偶尔闪一下。导致结果不理想。这是怎么回事？有没有懂得

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1楼 2022-04-29 17:37:11
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
拿出来看看靶材表面是否干净，调整下工艺压力试试。

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2楼2022-05-04 16:51:38
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派大星跑了

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2022-05-04 16:51:38
拿出来看看靶材表面是否干净，调整下工艺压力试试。

谢谢，靶表面清理了一下，好多了

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3楼2022-05-08 01:09:13
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