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【求助】用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽
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用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽，对沟槽的要求： 1.在石英玻璃片上刻蚀5 µm的沟槽，精度最好在±0.1um，沟槽长度3mm;另外，在石英玻璃片上打一些小坑，小坑直径50µm。 2.在同样大小的另一石英玻璃片上打孔，孔的直径50µm，深度0.5-1.5mm。 3.将两个石英玻璃片热黏合在一起，要求上面玻璃片上的小孔与下面石英玻璃片上小坑对齐，误差在10 µm左右。 |
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