| 查看: 251 | 回复: 0 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽
|
|||
|
用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽，对沟槽的要求： 1.在石英玻璃片上刻蚀5 µm的沟槽，精度最好在±0.1um，沟槽长度3mm;另外，在石英玻璃片上打一些小坑，小坑直径50µm。 2.在同样大小的另一石英玻璃片上打孔，孔的直径50µm，深度0.5-1.5mm。 3.将两个石英玻璃片热黏合在一起，要求上面玻璃片上的小孔与下面石英玻璃片上小坑对齐，误差在10 µm左右。 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有162人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-招收26年秋季入化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-招收化学博士1名
已经有0人回复