| 查看: 292 | 回复: 0 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽
|
|||
|
用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽，对沟槽的要求： 1.在石英玻璃片上刻蚀5 µm的沟槽，精度最好在±0.1um，沟槽长度3mm;另外，在石英玻璃片上打一些小坑，小坑直径50µm。 2.在同样大小的另一石英玻璃片上打孔，孔的直径50µm，深度0.5-1.5mm。 3.将两个石英玻璃片热黏合在一起，要求上面玻璃片上的小孔与下面石英玻璃片上小坑对齐，误差在10 µm左右。 |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有226人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复