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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wangyong2619

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽

用ICP刻蚀机或深反应离子刻蚀系统在石英玻璃片上刻蚀沟槽,对沟槽的要求:
1.在石英玻璃片上刻蚀5 µm的沟槽,精度最好在±0.1um,沟槽长度3mm;另外,在石英玻璃片上打一些小坑,小坑直径50µm。
2.在同样大小的另一石英玻璃片上打孔,孔的直径50µm,深度0.5-1.5mm。
3.将两个石英玻璃片热黏合在一起,要求上面玻璃片上的小孔与下面石英玻璃片上小坑对齐,误差在10 µm左右。
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