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【求助】陶瓷靶溅射时 掉粉
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| 我在做AZO实验时，采用陶瓷靶，电源用加了方波的直流电源，但时间很短靶材上就粘附大量的黑灰色粉末，并且薄膜上也呈黑色，透过率快速下降，拜求各位高手指点。 |
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wolfliu
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2楼2009-09-05 14:57:43
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