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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » ALD沉积薄膜不均匀
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就是你啊123

新虫 (小有名气)
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ALD沉积薄膜不均匀
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各位虫友吗，有用ALD沉积氧化锌薄膜的吗，我在带有300nm的氧化硅的硅片上沉积10nm的氧化锌薄膜不均匀，在玻璃上沉积看不到，在ITO上沉积没有，在金纳米薄膜上沉积也没有，谁知道怎么回事啊啊啊，拜托

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1楼 2022-03-25 20:40:27
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su183

新虫 (小有名气)
★
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我用过，沉积效果很好，我做的是氧化铝，氧化锌交替生长，不过是4寸硅片
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21楼2022-04-15 11:26:26
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wwiitt

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
21楼: Originally posted by su183 at 2022-04-15 11:26:26
我用过，沉积效果很好，我做的是氧化铝，氧化锌交替生长，不过是4寸硅片

是p型硅片么？需不需要什么特殊的清洗过程？
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23楼2022-10-17 20:27:30
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tzynew2楼
2022-03-25 20:41   回复  
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nono20093楼
2022-03-25 20:48   回复  
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babyoflion4楼
2022-03-25 21:03   回复  
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bodygb5楼
2022-03-25 21:11   回复  
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秋土豆香6楼
2022-03-25 22:11   回复  
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秋土豆香7楼
2022-03-25 22:11   回复  
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cowbo8楼
2022-03-25 22:22   回复  
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柏拉图之恋9楼
2022-03-25 23:04   回复  
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尼苏叶布10楼
2022-03-25 23:43   回复  
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尼苏叶布11楼
2022-03-25 23:43   回复  
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weixiao2012楼
2022-03-26 07:24   回复  
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liangsheng8813楼
2022-03-26 08:06   回复  
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zxf98414楼
2022-03-26 08:11   回复  
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downdrifting15楼
2022-03-26 08:22   回复  
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小猪娃儿16楼
2022-03-26 09:39   回复  
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chenhuanlong17楼
2022-03-26 09:53   回复  
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MEMSlee18楼
2022-03-27 21:17   回复  
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czcdxmc19楼
2022-03-28 17:56   回复  
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Matiasss20楼
2022-04-13 10:31   回复  
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BiochipJG22楼
2022-04-15 13:01   回复  
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