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ALD沉积薄膜不均匀
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就是你啊123
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ALD沉积薄膜不均匀
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各位虫友吗,有用ALD沉积氧化锌薄膜的吗,我在带有300nm的氧化硅的硅片上沉积10nm的氧化锌薄膜不均匀,在玻璃上沉积看不到,在ITO上沉积没有,在金纳米薄膜上沉积也没有,谁知道怎么回事啊啊啊,拜托
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su183
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我用过,沉积效果很好,我做的是氧化铝,氧化锌交替生长,不过是4寸硅片
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21楼
2022-04-15 11:26:26
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wwiitt
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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21楼
:
Originally posted by
su183
at 2022-04-15 11:26:26
我用过,沉积效果很好,我做的是氧化铝,氧化锌交替生长,不过是4寸硅片
是p型硅片么?需不需要什么特殊的清洗过程?
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23楼
2022-10-17 20:27:30
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tzynew
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nono2009
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babyoflion
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bodygb
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秋土豆香
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秋土豆香
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cowbo
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柏拉图之恋
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尼苏叶布
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尼苏叶布
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weixiao20
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liangsheng88
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zxf984
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downdrifting
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小猪娃儿
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chenhuanlong
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czcdxmc
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Matiasss
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2022-04-13 10:31
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BiochipJG
22楼
2022-04-15 13:01
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