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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 为什么ATO粉体和ATO薄膜电阻率差异如此巨大？
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ttxxyy123

铁虫 (小有名气)

[求助] 为什么ATO粉体和ATO薄膜电阻率差异如此巨大？ 已有1人参与

看文献中说，ato粉体的电阻率在10Ω·cm左右，而ato薄膜的电阻率在10^-4Ω·cm左右，请问大家为什么二者差异如此巨大呢？
这里说的ato薄膜是指磁控溅射或者脉冲激光沉积法制备的那种
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1楼 2022-03-23 16:54:07
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

ato本身的材料成分就有很大区别的
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2022-05-19 14:48:55
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执御

新虫 (小有名气)
我做ATO发现很多因数影响它的电阻率，电阻率相差这么大很可能和他的制备工艺不同，电阻率相差这么大很正常，即使相同工艺，条件不同电阻率也可能相差几个数量级

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3楼2022-05-19 22:27:28
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