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银虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】关于PZT(52/48)薄膜在Pt电极上的取向控制

文献上报道PZT(52/48)(100)取向的压电性能比较好，但似乎做出厚膜比较困难。
对于一般的压电器件，多晶的压电性能应该说足够满足要求了吧？
请指教！

[ Last edited by solgeltech on 2009-9-2 at 15:30 ]

镍酸镧氧化物铁电薄膜溶液铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ

1楼 2009-09-02 14:43:05

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木虫 (正式写手)

★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-2 21:58

利用溶液法制备（100）取向PZT薄膜并不难，不过涂厚了是有点难度，估计涂1微米以上得20多层吧。

2楼2009-09-02 20:45:33

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