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一定过线314

新虫 (小有名气)

[求助] 如何去除钽(Ta)层? 已有1人参与

本人是做超导材料的,有个问题,就是超导线在去除铜层之后有一层钽层,然后钽层里面是铌丝,我想在不破坏铌丝的情况下去除这层钽层,请问有没有办法去除?

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dc2003121106

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

钽铌化学性质接近,因此化学方法可能难以去除。物理方法是较好的选择。
钽层厚度如何?机械抛光去除是合适的方法。
10年SEM/EDS/EBSD经验
2楼2022-03-03 15:19:32
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一定过线314

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dc2003121106 at 2022-03-03 15:19:32
钽铌化学性质接近,因此化学方法可能难以去除。物理方法是较好的选择。
钽层厚度如何?机械抛光去除是合适的方法。

机械抛光试了,去除的不彻底,不均匀,用氢氟酸腐蚀掉了,但是不知道这个反应的原理是什么,也没查到方程式之类的
3楼2022-03-15 19:07:25
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