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功能膜溅射

铁虫 (初入文坛)

[求助] 干法刻蚀

向大家请教一个问题：TA2O5薄膜干法刻蚀用什么气体能加快刻蚀速率？

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1楼 2022-01-11 10:54:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)
加物理刻蚀

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2楼2022-01-11 11:25:34
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