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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？
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sldgz9

新虫 (小有名气)

[求助] ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？

用ZEP作为电子束刻胶软体掩膜（相当于金属铬硬掩膜版）来做EBL（电子束曝光），用于刻蚀铌酸锂。但是，ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？
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1楼 2021-12-04 14:26:07
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