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sldgz9

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[求助] ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？

用ZEP作为电子束刻胶软体掩膜（相当于金属铬硬掩膜版）来做EBL（电子束曝光），用于刻蚀铌酸锂。但是，ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？

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1楼 2021-12-04 14:26:07

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