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如何提高ZEP电子束胶与铌酸锂的界面性能?
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| 用ZEP作为电子束刻胶软体掩膜(相当于金属铬硬掩膜版)来做EBL(电子束曝光),用于刻蚀铌酸锂。但是,ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。不是如何提高其界面性能。 |
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