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sldgz9

新虫 (小有名气)

[求助] ZEP电子束胶的工艺参数(加工的线宽是0.2——2微米)

ZEP电子束胶的工艺参数(加工的线宽是0.2——2微米)(前烘,后烘,束流,显影时间等)
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2021-11-19 12:22:43
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sldgz9

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-11-19 12:22:43
你们是哪个单位

北京大学
3楼2021-11-19 18:56:24
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MEMS刘

新虫 (小有名气)

这个可以问供应商拿一个大概参数

发自小木虫Android客户端
4楼2021-11-19 22:22:25
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