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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » ZEP电子束胶的工艺参数（加工的线宽是0.2——2微米）
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sldgz9

新虫 (小有名气)

[求助] ZEP电子束胶的工艺参数（加工的线宽是0.2——2微米）

ZEP电子束胶的工艺参数（加工的线宽是0.2——2微米）（前烘，后烘，束流，显影时间等）
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1楼 2021-11-19 11:32:31
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babyoflion

金虫 (著名写手)
你们是哪个单位

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2楼2021-11-19 12:22:43
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sldgz9

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-11-19 12:22:43
你们是哪个单位

北京大学
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3楼2021-11-19 18:56:24
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MEMS刘

新虫 (小有名气)
这个可以问供应商拿一个大概参数

发自小木虫Android客户端
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4楼2021-11-19 22:22:25
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