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风间新之助

金虫 (小有名气)

[交流] sol-gel制备PZT薄膜,方形基片旋涂前驱不均匀的问题。

请教各位虫友大大,最近在用sol-gel制备PZT薄膜,配置好前驱液后用匀胶机旋涂出来发现方形基片上始终效果不好,边上有一圈(如下图)。我配置的前驱液浓度是0.33mol/L,旋涂参数的低速800r/min,10s,高速3000r/min,30s,加速度5000。
我尝试改变滴胶的量,旋涂速度,时间,加速度均不能前辈,这种出现这种情况可能是什么原因,或者方形基片只能做到这种效果。

sol-gel制备PZT薄膜,方形基片旋涂前驱不均匀的问题。


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一杯清水
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20楼2021-11-17 00:21:05
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2楼2021-11-16 22:31:09
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3楼2021-11-16 22:32:32
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