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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 使用电子书蒸镀设备制备三氧化二铝薄膜需要充氧么？
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真空干燥箱

新虫 (初入文坛)

[交流] 使用电子书蒸镀设备制备三氧化二铝薄膜需要充氧么？

如题，使用三氧化铝颗粒作为膜料，使用电子束蒸镀制备三氧化二铝薄膜的话，需要再在舱室中充氧么？充氧的话充氧量的改变会影响薄膜的什么性质？
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1楼 2021-11-06 10:13:17
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babyoflion

金虫 (著名写手)
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真空干燥箱
7楼2021-11-25 11:33:15
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真空干燥箱

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by babyoflion at 2021-11-25 11:33:15
加不加都行。略微细节影响，一般5%以内

好的，谢谢
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8楼2021-11-27 20:21:05
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tzynew2楼
2021-11-06 10:15   回复  
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nono20093楼
2021-11-06 10:17   回复  
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yihuzp4楼
2021-11-06 15:55   回复  
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miaojiabing5楼
2021-11-08 08:47   回复  
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bjdxyxy6楼
2021-11-08 22:30   回复  
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