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使用电子书蒸镀设备制备三氧化二铝薄膜需要充氧么?
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| 如题,使用三氧化铝颗粒作为膜料,使用电子束蒸镀制备三氧化二铝薄膜的话,需要再在舱室中充氧么?充氧的话充氧量的改变会影响薄膜的什么性质? |
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