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愤怒的李慢慢铜虫 (小有名气)
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[求助]
各位虫友，金属薄膜在退火出现裂痕，起包怎么办？
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我在硅片上蒸渡了100nmTi+100nmAu，之前在退火后表面没有问题，但是在坩埚加了新的Ti材料后，连做两次400°C的退火表面都发现严重的裂痕，可以保证加的是Ti材料，没有加错。各位老师同学有什么见解吗？，图片是退火前和退火后的，求助。 @wacky1980 @comma 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2021-11-20 00:31:01