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反应烧结碳化硅
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反应烧结碳化硅
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各位大佬,新人刚开始做反应烧结碳化硅,硅粉覆盖住坯体在真空炉内抽真空时会不会把硅粉抽走啊,感觉烧完的试件好像没渗硅。
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2021-11-03 09:50:36
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4楼
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Originally posted by
超人哈哈哈
at 2021-11-09 20:59:35
只有机械泵和分子泵分开抽,速度好像不能控制把...
管道有阀门没?有的话调整阀门控制
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5楼
2021-11-09 21:52:52
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songcumt
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硅粉颗粒细小的话会有部分被抽掉的,如果你是反应渗透的话建议用点大一些的颗粒,没有渗透的现象大概率是颗粒细小,直接原位生成SIC了
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2楼
2021-11-03 10:35:26
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抽真空速度太快会抽走,可以慢慢来抽,把抽真空时间延长
如果炉子有多级真空泵就好了
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2021-11-03 22:45:00
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3楼
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封神之神
at 2021-11-03 22:45:00
抽真空速度太快会抽走,可以慢慢来抽,把抽真空时间延长
如果炉子有多级真空泵就好了
只有机械泵和分子泵分开抽,速度好像不能控制把
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4楼
2021-11-09 20:59:35
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