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超人哈哈哈

新虫 (初入文坛)

[求助] 反应烧结碳化硅 已有2人参与

各位大佬,新人刚开始做反应烧结碳化硅,硅粉覆盖住坯体在真空炉内抽真空时会不会把硅粉抽走啊,感觉烧完的试件好像没渗硅。

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封神之神

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 超人哈哈哈 at 2021-11-09 20:59:35
只有机械泵和分子泵分开抽,速度好像不能控制把...

管道有阀门没?有的话调整阀门控制
5楼2021-11-09 21:52:52
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
硅粉颗粒细小的话会有部分被抽掉的,如果你是反应渗透的话建议用点大一些的颗粒,没有渗透的现象大概率是颗粒细小,直接原位生成SIC了
2楼2021-11-03 10:35:26
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
抽真空速度太快会抽走,可以慢慢来抽,把抽真空时间延长
如果炉子有多级真空泵就好了
3楼2021-11-03 22:45:00
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超人哈哈哈

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 封神之神 at 2021-11-03 22:45:00
抽真空速度太快会抽走,可以慢慢来抽,把抽真空时间延长
如果炉子有多级真空泵就好了

只有机械泵和分子泵分开抽,速度好像不能控制把
4楼2021-11-09 20:59:35
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