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求问,ald沉积薄膜材料底电极该怎么引出来呢?
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ald 280°生长氧化铪掺锆,整个片子上都是把底电极也遮挡了。尝试过用高温胶带,但奇怪的是有高温胶带的片子就无法沉积上材料(有人知道这个原因嘛?),没胶带沉积的还可以。但整个底电极上面都是了,我该怎么把底电极引出来让探针点上去呢?谢谢各位了! @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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