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求问，ald沉积薄膜材料底电极该怎么引出来呢？
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ald 280°生长氧化铪掺锆，整个片子上都是把底电极也遮挡了。尝试过用高温胶带，但奇怪的是有高温胶带的片子就无法沉积上材料（有人知道这个原因嘛？），没胶带沉积的还可以。但整个底电极上面都是了，我该怎么把底电极引出来让探针点上去呢？谢谢各位了！ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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