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风月千绪

新虫 (正式写手)

[求助] 直流磁控溅射,靶材被穿透并溅射了铜底座 已有1人参与

请问大佬们,我在使用直流磁控溅射锌靶的时候,没注意到靶材已经被溅射穿透了,所以导致靶材下面的铜底座也被溅射了一圈,请问这样的底座后面还能换其他靶材继续进行溅射吗?会有什么影响吗?求求大佬们解答一下

直流磁控溅射,靶材被穿透并溅射了铜底座


直流磁控溅射,靶材被穿透并溅射了铜底座-1


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风月千绪

新虫 (正式写手)

4楼2021-10-17 21:19:57
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查看全部 6 个回答

漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)

可以的,靶头上垫上碳纸或铝箔

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2楼2021-10-17 09:53:47
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风月千绪

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 漂游浪子 at 2021-10-17 09:53:47
可以的,靶头上垫上碳纸或铝箔

你好啊,请问垫上铝泊的话,会影响靶材起辉吗?会不会有什么不良反应呢?如果不垫东西,可以把靶材按原先那样直接放在底座上进行溅射吗?

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3楼2021-10-17 10:52:23
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
砂纸打磨下就可以,也可以垫一些石墨纸。没什么影响

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
5楼2021-10-18 17:44:23
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