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veil777

新虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体清洗求助

如题，本人使用等离子体清洗机清洗工件(材料为无氧铜)时，工件表面由紫红色变为部分带蓝色，和灰色，这些起灰的部分可以用棉球沾酒精擦掉，查阅资料二价的水合铜离子呈蓝色，可能是被氧化。实验使用的条件是Ar清洗5min，流量150SCCM，电极功率400W，气压150m乇(约20Pa)，清洗完毕抽真空充空气恢复至大气压。想请各位虫友帮忙分析下可能是什么环节引入了氧化？是大气抽至150m乇下残留的氧气参与了放电氧化亦或是功率和时间偏大导致充空气恢复大气压步骤引入的铜被氧化？

等离子体清洗求助


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1楼 2021-10-14 10:08:39
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)
有可能是最后充气造成的氧化，我们以前也遇到过类似问题，现在我们用的等离子设备带有充气保护功能，破真空前先冲入部分氮气，保护一段时间后再破真空，可以解决这个问题，型号是普特勒PTL-VR500型等离子清洗机。你也可以用现有设备，破真空用惰性气体，不要马上打开舱门，停一段时间再打开，这样应该也可以的
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2楼2021-11-15 19:51:08
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