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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教一下su8 2000系列的曝光剂量
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xrq0525

金虫 (正式写手)

[求助] 请教一下su8 2000系列的曝光剂量

请问13微米厚的su8 2010胶需要多大的曝光剂量呢？感觉说明说上给的130毫焦/平方厘米太高了，总是过曝

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1楼 2021-09-04 15:56:40
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bobo201266

金虫 (正式写手)
自己做实验确认材料窗口

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2楼2021-09-05 16:29:34
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xrq0525

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-09-05 16:29:34
自己做实验确认材料窗口

听君一席话，如听一些话

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3楼2021-09-05 17:07:18
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