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直流磁控溅射,首先放入的是银靶,然后镀完对腔室进行了清洁,又放入了铝靶,起辉正常,就是镀不上去,已经好几次这种情况了;还有一种情况是镀铝膜两次工艺相同,镀出来膜层厚度不同。请问大家这是什么情况啊
发自小木虫Android客户端 |
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