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风月千绪

新虫 (正式写手)

[求助] 直流和射频磁控溅射的不同

请问各位大佬,在相同的溅射参数和靶材下,用直流磁控溅射和射频磁控溅射所制备的薄膜,会有什么不同吗?望各位大佬能够解答,感谢!

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bobo201266

金虫 (正式写手)

一般导电材料用直流,非导电用射频。射频效率低,材料电阻会有差异。

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2楼2021-09-02 19:16:03
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漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)

薄膜的膜厚及形貌不一样

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3楼2021-10-17 09:55:03
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