| 查看: 1219 | 回复: 4 | |||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 红太阳 的 50 个金币 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
红太阳新虫 (正式写手)
|
[交流]
旋涂法制备薄膜的技术属于什么？
|
||
|
旋涂法制备薄膜的技术属于什么？CVD吗？还是溶胶-凝胶法 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
333求调剂
已经有10人回复
-
307求调剂
已经有3人回复
-
考研化学308分求调剂
已经有4人回复
-
298求调剂
已经有7人回复
-
263求调剂
已经有5人回复
-
276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历
已经有6人回复
-
求调剂材料学硕080500，总分289分
已经有21人回复
-
北科281学硕材料求调剂
已经有8人回复
-
08工学调剂
已经有9人回复
-
291 求调剂
已经有4人回复
红太阳
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 338.3
- 散金: 309
- 帖子: 301
- 在线: 44.1小时
- 虫号: 20916678
- 注册: 2020-02-16
- 性别: MM
- 专业: 物理学II
3楼2021-09-01 16:10:43
to_Landau
铁杆木虫 (正式写手)
小木虫
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 7377.9
- 散金: 10
- 帖子: 777
- 在线: 209.5小时
- 虫号: 1880385
- 注册: 2012-07-05
- 性别: GG
- 专业: 基础物理学
2楼2021-09-01 13:25:59
4楼2021-09-01 22:13:00
lizx2018
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4369.2
- 帖子: 909
- 在线: 14.2小时
- 虫号: 7741609
- 注册: 2018-01-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
旋涂跟CVD和PVD不是一回事。例如旋涂光刻胶，是先把液态的光刻胶滴在晶片中心，然后晶片旋转，靠离心力将光刻胶均匀涂覆在整个晶片表面。例如PECVD沉积SiO2是先向反应室通入硅烷和笑气，加射频激发等离子体，等离子态的硅烷和笑气反应生成氧化硅沉积在晶片表面。例如PVD沉积Cu是要有一个铜靶材，将Ar通入反应室，在铜靶材上加直流或射频电压，通入的氩气被电离成离子，轰击靶材，被轰击出的铜原子沉积在晶片表面。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2021-09-02 18:40:38
