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四探针法电阻和薄片电阻之间的直接关系公式推导
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四探针法电阻和薄片电阻之间的直接关系公式推导 请问薄片电阻(sheet resistance)和四探针电阻(four-probe resistance)的直接关系是怎么得出的,求下面这个公式的推导过程。 公式是: Rs = (R4p/L4p) * [(W2-W3)/In(W2/W3)] 公式中Rs为薄片电阻,R4p为四探针电阻,L4p为两根电压探针之间的距离,W2是探头2处的宽度,W3是探头3处的宽度(探头2和探头3指两个电压探头),条件中WS2材料的宽度不是均匀的,其宽度在电流方向上发生了变化,因而引入了W2和W3。 |
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