| 查看: 2085 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者sokooo111将赠送您 15 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射辉光问题 已有2人参与
|
||
|
各位好，之前实验室磁控溅射仪器的plc的cpu坏了，花了一个月左右才修好。现在同样以维修前的工艺参数做实验(气源、靶材都没变)，发现辉光颜色发绿(重新换了一块靶材也如此)，我检查了仪器真空度问题以及气源漏气情况，只发现和氩气瓶连接的减压阀有轻微漏气情况，其余无问题。 具体工艺情况：普通靶位，锰靶材，气氛Ar气，功率是110w预溅射20分钟、正式溅射7分钟。 每次做实验前会对靶材进行打磨，做实验时会出现这个现象：一开始辉光发绿，随着时间变化，溅射电压降低(电流升高），辉光颜色逐渐正常。但三分钟后溅射电压又逐渐升高(电流降低），辉光颜色发绿。以同样的工艺做出来的东西明显比维修前做出来的成品薄，现在不知道怎么办了，求助于各位虫友，能不能支支招。小弟先谢谢大家。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
浙江师范大学是怎么坑我的
已经有3人回复
-
浙江师范大学是怎么坑我的
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
求教各位大神：2026教育部人文社科青年基金项目何时公示呀？
已经有6人回复
-
面上有专家说实验设备不是我们单位的
已经有8人回复
-
科研求助
已经有4人回复
-
博士去二本高校当辅导员，如何调整心态？
已经有11人回复
-
江苏省自然基金 什么时候出结果
已经有6人回复
-
闲聊
已经有3人回复
2楼2021-08-09 20:25:57
3楼2021-08-25 17:41:08