| 查看: 1853 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者sokooo111将赠送您 15 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射辉光问题 已有2人参与
|
||
|
各位好，之前实验室磁控溅射仪器的plc的cpu坏了，花了一个月左右才修好。现在同样以维修前的工艺参数做实验(气源、靶材都没变)，发现辉光颜色发绿(重新换了一块靶材也如此)，我检查了仪器真空度问题以及气源漏气情况，只发现和氩气瓶连接的减压阀有轻微漏气情况，其余无问题。 具体工艺情况：普通靶位，锰靶材，气氛Ar气，功率是110w预溅射20分钟、正式溅射7分钟。 每次做实验前会对靶材进行打磨，做实验时会出现这个现象：一开始辉光发绿，随着时间变化，溅射电压降低(电流升高），辉光颜色逐渐正常。但三分钟后溅射电压又逐渐升高(电流降低），辉光颜色发绿。以同样的工艺做出来的东西明显比维修前做出来的成品薄，现在不知道怎么办了，求助于各位虫友，能不能支支招。小弟先谢谢大家。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低
已经有13人回复
-
为什么中国大学工科教授们水了那么多所谓的顶会顶刊，但还是做不出宇树机器人？
已经有8人回复
-
版面费该交吗
已经有8人回复
-
面上可以超过30页吧？
已经有4人回复
-
“人文社科而论，许多学术研究还没有达到民国时期的水平”
已经有5人回复
-
什么是人一生最重要的？
已经有4人回复
-
今年春晚有几个节目很不错，点赞！
已经有12人回复
2楼2021-08-09 20:25:57
www1
银虫 (著名写手)
- 应助: 39 (小学生)
- 金币: 2489.2
- 红花: 7
- 帖子: 2389
- 在线: 126.9小时
- 虫号: 100619
- 注册: 2005-11-12
- 专业: 理论和计算化学
3楼2021-08-25 17:41:08