| 查看: 1839 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者sokooo111将赠送您 15 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射辉光问题 已有2人参与
|
||
|
各位好，之前实验室磁控溅射仪器的plc的cpu坏了，花了一个月左右才修好。现在同样以维修前的工艺参数做实验(气源、靶材都没变)，发现辉光颜色发绿(重新换了一块靶材也如此)，我检查了仪器真空度问题以及气源漏气情况，只发现和氩气瓶连接的减压阀有轻微漏气情况，其余无问题。 具体工艺情况：普通靶位，锰靶材，气氛Ar气，功率是110w预溅射20分钟、正式溅射7分钟。 每次做实验前会对靶材进行打磨，做实验时会出现这个现象：一开始辉光发绿，随着时间变化，溅射电压降低(电流升高），辉光颜色逐渐正常。但三分钟后溅射电压又逐渐升高(电流降低），辉光颜色发绿。以同样的工艺做出来的东西明显比维修前做出来的成品薄，现在不知道怎么办了，求助于各位虫友，能不能支支招。小弟先谢谢大家。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
青椒八年已不青，大家都被折磨成啥样了？
已经有11人回复
-
限项规定
已经有9人回复
-
免疫学博士有名额，速联系
已经有4人回复
-
交叉科学部支持青年基金，对三无青椒是个机会吗？
已经有5人回复
-
国家基金申请书模板内插入图片不可调整大小?
已经有6人回复
-
国家级人才课题组招收2026年入学博士
已经有5人回复
-
Fe3O4@SiO2合成
已经有6人回复
-
青年基金C终止
已经有4人回复
-
26申博求博导推荐-遥感图像处理方向
已经有4人回复
-
西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生（考核制）—机械、材料、力学方向
已经有3人回复
2楼2021-08-09 20:25:57
www1
银虫 (著名写手)
- 应助: 39 (小学生)
- 金币: 2314.2
- 红花: 7
- 帖子: 2364
- 在线: 126.7小时
- 虫号: 100619
- 注册: 2005-11-12
- 专业: 理论和计算化学
3楼2021-08-25 17:41:08