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磁控溅射辉光问题 已有2人参与
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各位好，之前实验室磁控溅射仪器的plc的cpu坏了，花了一个月左右才修好。现在同样以维修前的工艺参数做实验(气源、靶材都没变)，发现辉光颜色发绿(重新换了一块靶材也如此)，我检查了仪器真空度问题以及气源漏气情况，只发现和氩气瓶连接的减压阀有轻微漏气情况，其余无问题。 具体工艺情况：普通靶位，锰靶材，气氛Ar气，功率是110w预溅射20分钟、正式溅射7分钟。 每次做实验前会对靶材进行打磨，做实验时会出现这个现象：一开始辉光发绿，随着时间变化，溅射电压降低(电流升高），辉光颜色逐渐正常。但三分钟后溅射电压又逐渐升高(电流降低），辉光颜色发绿。以同样的工艺做出来的东西明显比维修前做出来的成品薄，现在不知道怎么办了，求助于各位虫友，能不能支支招。小弟先谢谢大家。 发自小木虫Android客户端 |
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