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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » EBL曝光后的胶，图形能保持多久？
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椒盐牛肉里

铜虫 (著名写手)

[求助] EBL曝光后的胶，图形能保持多久？ 已有1人参与

目前有个比较复杂的EBL的demo要在日本做，但是日本的实验室里没有IBE离子束刻蚀。所以EBL写完图形之后经过development和post-baked之后，图形还能保持多久啊？我们准备从日本寄回国内做IBE，担心邮寄的这十几天发生太大变化，胶就是普通的PMMA A4或者A6。日本人说没啥问题，但是我还是有点担心。Pttern类似于Ar里面的倾斜光栅。
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1楼 2021-08-04 09:05:54
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rollin1977

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

完全不会有问题，包装的时候把口封好就可以了
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3楼2021-08-15 09:11:25
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babyoflion

金虫 (著名写手)
注意温度和刮擦，一般不会有啥问题

发自小木虫Android客户端
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2楼2021-08-04 09:43:16
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