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测球差电镜发现半导体表面有4-5 nm厚的无序层（看不到晶格结构 如图），内部结晶良好（能看到明显的晶格结构），XRD数据为晶体，纯相无杂质，最外层的部分可以称之为非晶吗 Scanning Acquire_0.jpg |
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