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DSC测试薄膜为什么没有峰
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[交流]
DSC测试薄膜为什么没有峰
如图,我是用硅做衬底溅射的薄膜,想去测试一下DSC,但是测试出来的数据没有峰,按道理来说在200度左右和750度左右会各有一个吸热和放热峰,刻蚀为什么现在什么峰都没有呢?是不是测成硅衬底的信号去了?
图中黑线是DSC 热流信号
11111.png
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