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张杨翠

铁虫 (正式写手)

[求助] EBL工艺

1、EBL工艺中,定影时间过长,对Pattern(50nm的小岛)有什么影响?

电子束光刻胶:PMMA A4
显影:四甲基二戊酮:异丙醇=1:3,120s
定影:异丙醇,原本应该30s,结果手抖样品没拿出来泡了53s。

2、另外想请教各位实验达人们,是怎么夹取样品的呢?有没有什么好用的工具推荐?谢谢!
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张杨翠

铁虫 (正式写手)

2楼2021-06-07 11:10:12
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