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EBL工艺
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1、EBL工艺中，定影时间过长，对Pattern（50nm的小岛）有什么影响？ 电子束光刻胶：PMMA A4 显影：四甲基二戊酮：异丙醇=1:3,120s 定影：异丙醇，原本应该30s，结果手抖样品没拿出来泡了53s。 2、另外想请教各位实验达人们，是怎么夹取样品的呢？有没有什么好用的工具推荐？谢谢！ |
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2楼2021-06-07 11:10:12