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54173285

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射 已有2人参与

用磁控方法在钢基片镀完膜，截面扫描图发现基片上出现很多裂纹，是怎么回事

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1楼 2021-06-01 14:16:49
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lgz5123058

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 54173285 at 2021-06-02 18:30:18
但是能谱打出来基片上有不少的氧，磁控过程中应该不会氧化啊？
...

你溅射什么材料 我溅射钽也打出来很多氧

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4楼2021-10-15 20:58:15
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
膜和基的热膨胀系数不一样，增加过渡层试试
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2021-06-02 10:22:58
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54173285

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2021-06-02 10:22:58
膜和基的热膨胀系数不一样，增加过渡层试试

但是能谱打出来基片上有不少的氧，磁控过程中应该不会氧化啊？

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3楼2021-06-02 18:30:18
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