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sxj908

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何测量薄膜厚度方向上的电导率

请教高人:如何测量薄膜厚度方向上的电导率?用什么设备和什么方法?在文献中,一般用的方法和设备也相差很大,感觉不太标准。
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gaoyuan1398

银虫 (正式写手)

2楼2009-08-12 13:04:33
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iber

木虫 (正式写手)

我也想知道啊
3楼2009-08-13 16:46:59
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Drizzt_Ng

木虫 (小有名气)

你是指vertical方向的么?大概多少nm的薄膜?
4楼2009-08-13 21:54:04
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

即使是面上电阻的测量与计算方法都很有争议呢。
薄膜的形状,厚度,均匀性,接触电阻,电极大小,都有问题
材料分析测试技术群:101717240。
5楼2009-08-14 09:38:07
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sxj908

银虫 (小有名气)

薄膜的厚度大概5微米至100微米不等
6楼2009-08-14 11:06:02
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