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lishaomen

新虫 (小有名气)

[求助] 湿法刻蚀微观模拟

有没有搞湿法刻蚀的前辈?想请教一下,对于刻蚀过程中的固(晶体)-液反应中的微观过程,能否用第一性原理或者分子动力学来模拟?
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lishaomen

新虫 (小有名气)

主要刻蚀的是硅和二氧化硅
2楼2021-05-12 16:28:54
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