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RF离子束溅射镀膜
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最近接手一台溅射镀膜机，寻找些资料，求推荐，关于RF离子束溅射原理，参数调整相关的。主要镀些金属靶材，机台是VEECO的，有同行有资料推荐下么 发自小木虫Android客户端 |
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