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leking137joey金虫 (正式写手)
材料小生
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[交流]
【请教】关于扫描电镜上EDS的分辨率。
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诚心请教各位大侠： 1.能量分辨率~eV和空间分辨率~微米，怎样转化？ 2.一般来说能谱打一个点，其所获得的成分是代表多大一个区域的？ 3.能谱得到的成分有多不可靠？ 4.如果我想了解关于能谱分辨率的问题，有什么资料可以推荐？ 谢谢！ |
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leking137joey(金币+6,VIP+0):谢谢 请问关于这个问题 有什么权威的文献或者参考资料吗？ 10-15 10:00
leking137joey(金币+6,VIP+0):谢谢 请问关于这个问题 有什么权威的文献或者参考资料吗？ 10-15 10:00
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1.能量分辨率~eV和空间分辨率~微米，怎样转化？ 答：两者之间的应该没有一个公式什么的进行转化，能量分辨率目前还是主要以Mn的Ka线的半高宽来进行标定，一般也就是130ev左右。空间分辨率取决于入射电子束与试样的相互作用体积范围，也就是说如入射电子束的束斑尺寸、电子束的束流大小、试样的原子序数大小、密度等因数都有关。 2.一般来说能谱打一个点，其所获得的成分是代表多大一个区域的？ 答：如问题1中所述空间分辨率的问题，这个点所获得的成分的代表多大的区域取决于入射电子束与试样的相互作用体积范围，也就是说如入射电子束的束斑尺寸、电子束的束流大小、试样的原子序数大小、密度等因数都有关。测试条件不同，样品不同，作用区域和深度也不尽相同，所以说没有一个固定的值。 3.能谱得到的成分有多不可靠？ 答：怎么说呢，一般如果测量的元素其原子序数大于11，含量大于10％的话，那么误差在正负3％左右吧。 |
6楼2009-10-15 08:18:35
liqianaaa11
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leking137joey
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4楼2009-09-20 16:19:47
