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midibb

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】ICP-MS测试中K含量突变如何解决

在ICP-MS测试过程中发现一个问题,请高人指教。我们主要是用Agilent 7500来测量硅片中金属含量,用HF和H2O2萃取Si晶元表面层元素,进行测量。在使用过程中,会无规律的出现对标样测量建标准曲线时K含量突然变高的情况,但是过一两天又会恢复正常。翻以前的帖子有介绍此种情况是ArH+的干扰。
我的问题是如果确实是ArH+干扰,那么为什么会无规律的出现突增,是什么原因引起的,与标样有没有关系?如果要避免这种情况的发生,应该如何解决?
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midibb

木虫 (正式写手)

晕倒,没有xdjm知道
2楼2009-08-07 14:49:48
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baojibt

金虫 (小有名气)


midibb(金币+1,VIP+0):用的内标法,怀疑是ArH+干扰,刚开始接触ICP=MS,所以不知道怎么消除干扰,请求指点 8-10 00:49
首先,我要问你用是么方法做的?内标法?外标法?还是标准加入法?其次,在MS中如果遇到干扰常出现这种情况,强度值无规律变化,这时你要思考如何消除干扰。
3楼2009-08-09 18:37:33
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midibb

木虫 (正式写手)

测量硅片中的ppt级金属含量,用的标准加入法
4楼2009-08-14 17:03:30
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