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13536562

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[求助] 哪位大佬能给介绍下光刻工艺中spin on carbon是什么

哪位大佬能给介绍下光刻工艺中spin on carbon是什么，这种工艺的中文名称是什么，是个什么流程？

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1楼 2021-03-16 11:11:32

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