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如何使硅片制绒面均匀沉积溶液
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| 由于硅片制绒后，表面是金字塔结构，在随后沉积溶液（旋涂）过程中，由于重力作用，溶液更容易沉积在金字塔底部，顶部溶液较少。怎样改善这种情况，使塔顶积液量和塔底相差较少，更均匀。希望从溶液性质进行改善。 |
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