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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻显影以及显影图案保留问题
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者8753将赠送您 5 个金币

8753

铁虫 (初入文坛)

[求助] 光刻显影以及显影图案保留问题

以铜膜为基底旋涂的光刻胶，在显影后的图案上热蒸发镀金，然后再用洗脱液洗去光刻胶，显影出的图案部分的金也会被洗掉是什么原因呢？
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1楼 2021-03-11 19:36:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)
粘附性不好

发自小木虫Android客户端
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2楼2021-03-11 20:32:06
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bobo201266

金虫 (正式写手)
先确定，显影是否残留。

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3楼2021-03-12 08:44:56
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8753

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-03-12 08:44:56
先确定，显影是否残留。

好的，非常感谢
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4楼2021-03-12 16:49:45
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8753

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-03-11 20:32:06
粘附性不好

有什么办法能提高它们之间的粘附性吗
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5楼2021-03-12 16:52:09
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babyoflion

金虫 (著名写手)
换溅射，和增加打底层！

发自小木虫Android客户端
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6楼2021-03-12 17:48:39
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
7楼2021-04-15 22:07:43
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
8楼2021-04-15 22:08:23
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
金和铜的粘连挺好的。需要先打底膜

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9楼2021-04-16 05:46:28
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