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【请教】【请教】SEM上测的EDS谱通常都有比较高的C含量。请问这些炭的来源有哪些？
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RT SEM上测的EDS谱通常都有比较高的C含量。请问这些炭的来源有哪些？ 谢谢！ |
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lizz2833
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2楼2009-08-03 08:30:12
ligang8328685
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3楼2009-08-03 08:39:25
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zxc508
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污染炭来源 样品表面炭污染的主要来源是有机炭，一般在空气中就含有各种有机成分，虽然含量不高但吸附性能很强，并吸附后一般是不可能脱附的，因此，会残留在样品表面。此外，就算在真空系统中，不使用扩散泵，但前级真空的机械泵，润滑油，清洗用的无水酒精均可在真空系统中残留的。一般应该说样品上最多的吸附C为脂肪碳，分解吸附的过程很复杂。大家都是根据经验，一般吸附最多的碳是认为是脂肪碳。现在一个问题出来了，污染碳的峰到底是多少，284.6eV、284.8eV还是285.0eV? 虽然污染C沉积在不同的衬底上，其值不同，但好多资料中都笼统地定为一个值。如果你的C1s的结合能为285.0 eV,那应该是有机炭，空气中的浮尘，手上的汗渍，都有可能。ESCA精度很高，但是也容易受污染。不同的文献有不同的数值。不同的人看的文献不同，采用的数值不同。现在采用284.8eV的较多。 [ Last edited by zxc508 on 2009-8-4 at 08:46 ] |
7楼2009-08-04 08:44:20
temedx
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