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【求助】请问一下~什么是光阻材料？
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| 在photolithography中，用到了光阻材料，我想知道光阻材料是什么，作用是什么？ |
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2楼2009-07-30 20:26:00
3楼2009-07-30 20:55:35
4楼2009-07-30 21:07:37
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5楼2009-07-31 10:30:17
swws16
木虫 (小有名气)
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- 专业: 水泥与耐火材料
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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photoresist，又叫光刻胶，一般可以分为positive和negative两种，当有光或者电子束照射时，它们对于某一种溶剂的溶解性能会发生变化。通过Mask的作用，一部分照到光，一部分没有照到，从而可以得到对应的图案。如果是UV照射叫做UV-lithography，如果是电子束照射，叫做E-beam lithography。 一般一种photoresist对应一种显影剂developer，我用过1813，然后developer用的MF319 [ Last edited by swws16 on 2009-8-1 at 06:25 ] |
6楼2009-08-01 04:33:33