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mse507

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于ZnO掺Al透明电极的Al掺量

本人拟用溶胶凝胶法制备ZnO掺Al透明电极薄膜,请教各位Al的最佳掺量是多少啊?
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)


mse507(金币+1,VIP+0): 7-30 09:17
溶胶凝胶法制备不太清楚,一般溅射制备透明电极要在30%左右
http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
3楼2009-07-29 20:55:25
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查看全部 21 个回答

zjuer

至尊木虫 (著名写手)


mse507(金币+1,VIP+0): 7-29 20:39
需要综合考虑透光率和导电率吧,没做过。
2楼2009-07-29 19:51:32
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mse507

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by sun-boymlh at 2009-7-29 20:55:
溶胶凝胶法制备不太清楚,一般溅射制备透明电极要在30%左右

30%? 太高了吧?
4楼2009-07-29 20:59:13
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ymmiskobe

铜虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
mse507(金币+1,VIP+0):谢谢 7-30 08:55
mse507(金币+4,VIP+0): 7-30 09:18
这个问题问得有点儿太近利了吧...
  给你几个建议吧~~doping一般量不能太少也不能太多,一般是0.5~3%最高的我见过有5%,这十年作出的ZAO薄膜中透光率超过82%的基本都是2%Al,所以你的做的时候要是图方便就做1~3的吧

  制取ZAO薄膜的方法很多,SP,CVD,  RFMS,DCMS都有,根据膜的厚度和制模方法得出的最佳值都不太一样,但是要综合考虑导电性和耐热性啊!
5楼2009-07-29 21:43:00
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