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深圳市中图仪器股份有限公司

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光学轮廓仪、3D轮廓仪、白光干涉仪、激光干涉仪、轮廓仪

深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼

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superview w3光学3d表面轮廓仪，为半导体行业微观检测量身打造，具有多个显著的优点：

1.最大300*300mm的行程，可适配12inch及以下的所有尺寸的晶圆；

2.同时兼容12inch及以下规格的真空吸盘，一台设备，即可适用于多条产线；

3.可编程自动化测量，使用“低倍搜索，高倍测量”的方式，可以快速实现多区域的高精度定位测量。

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