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旅行的清风

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于FCVD的资料

有没有大神告知一下FCVD(flowable CVD 流体化学气相沉积)的应用场景,及这种镀膜技术的优缺点,有相关资料更好。如果需要付费回答也可以的,感谢!
我想了解下这种工艺,感谢!

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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如清风自在的旅行~
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