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关于FCVD的资料
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有没有大神告知一下FCVD(flowable CVD 流体化学气相沉积)的应用场景，及这种镀膜技术的优缺点，有相关资料更好。如果需要付费回答也可以的，感谢！ 我想了解下这种工艺，感谢！ @yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端 |
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