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wls999

铜虫 (小有名气)

[交流] 【交流】ITO玻璃的刻蚀

请问各位大侠,作太阳电池用的ITO刻蚀的时候,大家用的什么方法,有效面积的部分是用什么遮盖的?
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majieyuan

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
ITO的蚀刻方案不会分在太阳能上还是在显示器上的,
主要两种:
HCl系列:可以加硝酸、FeCl3等强氧化剂
草酸系列:也可以将FeCl3等氧化剂
具体配方各企业都不相同,只有自己摸索了!
3楼2009-09-07 11:35:07
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majieyuan

金虫 (小有名气)

有效面积部分当然用光刻胶覆盖了
请看文章:有机太阳能电池 I T O电极的光刻制备法及其研究http://d.namipan.com/d/8004d9a13 ... ae4328657f745a90300
4楼2009-09-07 11:37:11
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