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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于硅片隐切用什么激光问题
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BoboSun

铁虫 (初入文坛)

[交流] 关于硅片隐切用什么激光问题

关于硅片隐切，100~200um的硅片做隐切，请问做高阻硅隐切，目前主流用什么激光，请教过别人，说用1064nm的居多，有用1080的，有用1342的，请问了解这行的，目前主要用哪几种激光，主流的用什么？
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一切有为法，如梦幻泡影。如露亦如电，应作如是观
1楼 2020-12-03 13:55:21
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奇佩猪

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1064较多，工艺也比较成熟
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2楼2020-12-03 17:26:15
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