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BOE刻蚀液配置
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| 想用BOE溶液刻蚀硅片表面的二氧化硅，现在得配置BOE刻蚀液（49 ％HF：40％NH4F=1：6），这个过程要注意什么呢？HF稀释会不会放出大量热量？有没有解答一下，谢谢啦！ |
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