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khj1205

新虫 (小有名气)

[求助] BOE刻蚀液配置

想用BOE溶液刻蚀硅片表面的二氧化硅,现在得配置BOE刻蚀液(49 %HF:40%NH4F=1:6),这个过程要注意什么呢?HF稀释会不会放出大量热量?有没有解答一下,谢谢啦!
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