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XPS的测试最高能测多低含量的元素
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硅片表面有1nm左右的氧化层，经过氮气处理之后测sims存在大概1e17at/cm3浓度的n，o含量大概为1e21，si含量为1e22，请问能通过xps来测到n的价态吗？我之前去测了一次没测到，对方说浓度太低了。或者有什么更好的方法吗？ |
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