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PVD金属层SEM截面观测
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公司生产的PVD产品，生产工艺为：ABS/PC塑材上喷底漆，然后蒸发镀或溅射镀一层薄金属，金属层厚度范围20nm到300nm之间，表面再喷面漆。现在需要用SEM观测中间PVD金属层的厚度，尝试过用公司现有的金相制样手段镶嵌打磨（碳化硅砂纸P240, P800, P1500,P2500研磨后用0.05μm氧化铝抛光粉抛光，最后超声波清洗切片），截面喷金后在SEM下基本上都观察不到PVD层。主要体现在：1. 没有底面漆的样品，表面PVD层与环氧树脂间有缝隙，PVD层太薄会破碎变形；2. 有面漆的产品，油漆与PVD层之间在SEM下观察到有缝隙，PVD要么变形要么破碎，判断不了PVD层真实形貌。 公司实验室规模不大，用到的SEM是蔡司EVO-18钨灯丝扫描电镜，金相制样也只有普通的砂轮切割机和自动磨抛机，喷金仪用的国产中科科仪的小型离子溅射仪。SEM设备是今年才购入的，之前并没有接触过相关测试。 想请教一下各位大神：1. 我们公司的这种产品，如果想实现用SEM观测截面测厚度，制样手段应该怎么改善？感觉目前采用的金相镶嵌制作切片的方式，研磨过程对PVD层破坏较大，有了解过一些制样设备，知道可以通过离子切割研磨设备可以实现不破坏PVD形貌，但是这种设备费用比较高公司估计不会投入。有没有可能在现有的设备上或者较少投入的情况下达到测试目的？ 2. 现在用的钨灯丝扫描电镜，感觉拍摄图片质量也不太高，10k倍以下的图片基本都是比较清晰，放大20k倍以上图片感觉都比较模糊。更换灯丝，调节灯丝像和光阑对中这些操作每次都找供应商看过，也没有什么问题。试过低加速电压小束流的条件下拍图，改善也不明显。想问问有没有用过这款设备的大神，怎样能提高高倍下拍图的质量？还有这个国产的喷金仪，感觉喷金的质量也不太稳定，有时候金膜肉眼可见的不均匀，这个对SEM观察效果影响有多大？看过场发射拍的图，图像质量比钨灯丝电镜拍的好的不是一点半点，FIB公司更加不会考虑购买了。 诚心请教各位大神，对于薄层金属SEM截面观测有没有什么好的方法？非常感谢！ |
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