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guodong6307银虫 (小有名气)
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高深径比纳米孔加工应用讨论
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| 有一项技术可以在透明基底,如玻璃上空间选择性的加工出高深径比孔(深径比可达1000:1以上,孔直径小于500 nm)。请问哪些领域或者具体到什么方向上对这项技术有需求? |
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guodong6307
银虫 (小有名气)
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mac194
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【答案】应助回帖
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wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励! 2020-10-11 22:58:04
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励! 2020-10-11 22:58:04
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如果信息来源是 https://www.nsfc.gov.cn/csc/20345/20348/pdf/2019/201903-261.pdf 则应用领域很可能是 IC 集成电路芯片制造业 (光刻机组件) |
2楼2020-10-11 08:25:10













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