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如何表征硅片上生长的氧化硅,1纳米左右可以利用什么技术测出来,拉曼和红外能分辨吗

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正沛若w

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如果是1纳米的话,建议是用球差电镜,可以看氧化硅的 形貌。
12楼2020-10-09 09:20:15
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小小金虫子

新虫 (小有名气)


引用回帖:
12楼: Originally posted by 正沛若w at 2020-10-09 09:20:15
如果是1纳米的话,建议是用球差电镜,可以看氧化硅的 形貌。

我不关心形貌,仅仅需要量化一下氧化的程度

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13楼2020-10-12 01:35:33
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kakarote2楼
2020-10-09 00:37   回复  
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2020-10-09 00:37   回复  
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haha61694楼
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fzysdj9楼
2020-10-09 02:02   回复  
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xuji10楼
2020-10-09 03:09   回复  
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liangna52811楼
2020-10-09 03:47   回复  
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